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TG50F日本大阪真空OSAKA燈具生產(chǎn)光學(xué)元件生產(chǎn)用任何方向類型渦輪分子泵北崎熱賣
任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承,用于小型、輕便和低成本的泵??箾_擊設(shè)計(jì)使渦輪分子泵能夠安裝在移動(dòng)設(shè)備或運(yùn)動(dòng)部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號(hào)。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產(chǎn)品陣容
TG50F
任何方向
緊湊的尺寸
節(jié)能
快速啟動(dòng)
帶排氣口快速關(guān)閉
用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)
串行通信
※RS232C串行接口
應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn)
電子槍排氣、電離源排氣
FPD制造
表面處理、表面改性
各種電子元器件的制造
分析、檢測(cè)設(shè)備
燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)
加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
熱處理
研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體,請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用TG-M或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 入口法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 體積流量 | N2(長/秒) | 51 |
| N2(帶防護(hù) 屏)(長/秒) | 49 | |
| H2(長/秒) | 12 | |
| *壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基礎(chǔ)壓力 | VG?ISO-R/CF (帕) | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF (Torr) | <2.3×10-8 | |
| *吞吐量※1 | N2(SCCM) | 80 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (分鐘) | 1-1.5 |
| 關(guān)機(jī)時(shí)間 | (分鐘) | 1-1.5 |
| *背壓 | (賓夕法尼亞州/托爾) | 1330/10 |
| 的前級(jí)真空泵 | (升/分鐘) | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64型 | |
*1 : 使用100L/min的前級(jí)真空泵時(shí)。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C,水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C,冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對(duì)應(yīng)氣體]
一些使用氣體會(huì)使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請(qǐng)聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。

