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LINTEC林泰克VF-0201N加熱過濾器用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物北崎熱賣
小型氣體加熱器(熱交換器)
瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點,即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導(dǎo)體制造工藝中,不僅需要對氣體進(jìn)行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu),適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
加熱過濾器VF-0201N
加熱器與過濾精度達(dá) 0.1μm的過濾器同時搭載。
該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過濾,接觸氣體部分材完全采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。
特點
0.1μm 的過濾精度
*使用溫度達(dá)200℃
全金屬無塵構(gòu)造
VF-0201N
使用范例
該系列過濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方,用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。

