TG390M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵用于半導(dǎo)體生產(chǎn)北崎熱賣

2025/11/07 15:22:22

磁懸浮型TG-M系列

使用磁懸浮軸承可實現(xiàn)完全無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產(chǎn)品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

磁懸浮式渦輪分子泵的截面

ターボ分子ポンプ斷面図（磁気軸受タイプ）

TG390M型

■任何方向

■緊湊的尺寸

■節(jié)能

■快速啟動和停止

■維修

■無振動

■型號無聯(lián)軸器

■自動校準(zhǔn)

■高吞吐量

■轉(zhuǎn)速控制

■串行通信

■NRTL SEMI-S2 CE安全標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理

■ 研究與開發(fā)

Inlet flange		VG100
		CF100
		ISO-B100
Volume flow rate	N2 (L/s)	340
	N(with protective screen) (L/s)	320
	H2 (L/s)	290
Max. compression ratio	N2	1×108
Max. compression ratio	H2	4.5×103
Base pressure	VG?ISO-B/CF (Pa)	<1×10<1×10
Base pressure	VG?ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10<7.5×10
Max. throughput※1	N2 (sccm)	2000
Startup time	(min)	2~3
Shutdown time	(min)	4~5
Max. backing pressure	(Pa / Torr)	400 / 3
Recommended backing vacuum pump	(L/min)	≧160
Position		Any orientation
Weight (kg) VG?ISO-B/CF		14 / 17
Controller		TC010MA
Special specifications *Contact our sales representative for more information.		-Chemical-use -Thermal insulation TG-MI -Ultra low vibration TG-ML

*1 ：使用320L/min的前級真空泵時。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應(yīng)氣體]

某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。