EBARA荏原干式真空泵EV-S50(P/N)

2025/11/07 11:13:11

EBARA荏原干式真空泵EV-S50(P/N)由深圳市京都玉崎電子有限公司供應(yīng)，并提供報(bào)價(jià)圖片，！

EV-S型干式真空泵

EV-S 型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝（如：load lock、 SEM）到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附加功能的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 ”。

特點(diǎn)

在“低能耗、占地小、輕量化”方面達(dá)到業(yè)內(nèi)*水平;耐腐蝕材料、氮?dú)獯祾吖δ?可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致;通過(guò)增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時(shí)間.

EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列無(wú)油真空泵產(chǎn)品，具有清潔、節(jié)能、緊湊等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域。以下是其主要介紹：

產(chǎn)品特點(diǎn)

無(wú)油清潔：采用非接觸式密封技術(shù)，無(wú)需使用油或液體進(jìn)行密封，能實(shí)現(xiàn)清潔真空，避免油和水的回流或擴(kuò)散，適用于對(duì)真空環(huán)境要求較高的場(chǎng)合。

節(jié)能高效：的優(yōu)化轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，提高了壓縮效率，降低了功耗。部分型號(hào)還具備怠速模式，可進(jìn)一步節(jié)省能源。

小巧輕便：具有小型輕量化的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，占用空間小，便于安裝在有限的空間內(nèi)，且一些型號(hào)易于搬運(yùn)，適合需要多次移動(dòng)的應(yīng)用場(chǎng)景。

低噪音振動(dòng)：運(yùn)行時(shí)噪音和振動(dòng)水平較低，能為用戶(hù)提供較為安靜的工作環(huán)境，同時(shí)也有助于設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命。

智能控制：具備*的控制管理功能，如數(shù)據(jù)保存、警報(bào)履歷備份等，部分型號(hào)還可通過(guò)可編程的 LCD 控制器進(jìn)行手動(dòng)預(yù)警設(shè)置，方便用戶(hù)監(jiān)控和管理設(shè)備。

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EBARA荏原干式真空泵EV-S50(P/N)